一种高热导、电绝缘液相烧结碳化硅陶瓷及其SPS工艺制备方法

摘要

本发明涉及一种高热导、电绝缘液相烧结碳化硅陶瓷及其SPS工艺制备方法。一种辉光放电等离子液相烧结碳化硅陶瓷的制备方法包括：将SiC粉体、稀土氧化物和溶剂混合，制备得到浆料，所述稀土氧化物为CeO2、Y2O3、Er2O3中的至少两种；将所得浆料经干燥、过筛、成型后得到坯体；将所得坯体在加压、惰性气氛条件下进行辉光放电等离子烧结，得到所述辉光放电等离子液相烧结碳化硅陶瓷。