公开/公告号CN109426170A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201710778055.9
发明设计人 姜英伟;
申请日2017-09-01
分类号G05B19/04(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人彭瑞欣;姜春咸
地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2024-02-19 06:47:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/04 申请日:20170901
实质审查的生效
2019-03-05
公开
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