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一种大动态汤姆逊离子谱仪

摘要

本发明公开了一种大动态汤姆逊离子谱仪,包括:准直器、用于产生使离子做圆周运动的磁场发生装置、电场发生装置、成像板和绝缘环;磁场发生装置内部具有第一离子通道,第一离子通道的一端连接准直器,另一端连接绝缘环;电场发生装置内部具有第二离子通道,第二离子通道的一端连接绝缘环,另一端与成像板相对;本发明通过绝缘环将磁场部分和电场部分分开,一方面可以使得电极板加工更简单,减小加高电压风险,另一方面,低能端离子只需较短距离的电场方向偏移,从而防止低能离子打在电极板上,这样增加了低能端诊断阈值,使汤姆逊离子谱仪具有更大的能谱诊断动态范围。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01T1/36 申请日:20181221

    实质审查的生效

  • 2019-03-12

    公开

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