TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺

摘要

本发明公开了一种TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺，包括步骤一、铝锭形成半成品铝板作业步骤，将铝锭依次经过加热、控温、压延、校直、切断，形成半成品铝板；步骤二、冷却步骤，将半成品铝板进行自然冷却步骤；步骤三、半成品铝板形成成品步骤，将半成品铝板依次经过加热、控温、压延、校直、切断，形成TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材，其中最后一次的压制展延的下压量为X，50％＜X＜70％。用以满足TFT液晶面板配线层的适用条件。