一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉

摘要

本发明提供一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，包括炉体内筒、炉体外筒，和设置于所述炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的螺旋状导流板；所述炉体外筒底部设置有第一冷却水进口，能够将冷却水导入炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中，并沿螺旋状导流板螺旋上升流动；所述炉体外筒顶部设置有第一冷却水出口，能够将炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的冷却水导出。既能维持炉内温度，又保证炉体的加压水导流冷却，和双层玻璃视镜的局部水冷。