一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置

摘要

本发明提供了一种用于硅抛光片擦片清洗机的擦片刷装置，包括刷体和设置于刷体上的进水机构、驱动机构，刷体包括第一刷体和第二刷体，所述第二刷体为圆筒状的海绵，第一刷体的外壁还设有多个凹槽，凹槽的槽底还布设多个通孔，第一刷体分别通过两端的台阶孔连接进水机构和驱动机构；所述进水机构包括接头和进水柱，超纯水通过进水柱和接头流入第一刷体的内腔；所述驱动机构包括电机和连接于电机的联轴器，所述联轴器设置于第一刷体另一端的台阶孔内。本发明有效提高擦片清洗机对硅片的清洗效果，实现硅抛光片表面的高洁净度要求。