一种基于柔性铰链机构的纳米级电容位移传感器测量装置

摘要

本发明提供了一种基于柔性铰链机构的纳米级电容位移传感器测量装置，包括直线电机、电机支架、主体连接板、固定在所述主体连接板上的平台主体，所述平台主体内部安装柔性铰链机构，所述直线电机通过所述电机支架固定在所述主体连接板上，所述平台主体由所述直线电机驱动运动；在所述平台主体顶面上靠近所述直线电机一侧竖向安装纳米位移传感器安装板，在所述纳米位移传感器安装板上安装纳米位移传感器，在所述凸台上固定运动板。本发明结构紧凑，可测试纳米级位移电容传感器的行程，测试稳定性好，使用中可以确保被检测面以较小的俯仰角度及偏航角度运动，保证了纳米位移电容传感器检测数值的准确性。