钽环滚花表面粗糙度控制方法

摘要

本发明提供了一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，涉及半导体的技术领域，包括在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。本发明的目的在于提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，对环件表面花纹进行抛光处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整，从而提高产品在客户端的使用性能。