一种纯化水合肼制备电子级水合肼的方法

摘要

本发明公开了一种纯化水合肼制备电子级水合肼的方法，涉及化学品提纯技术领域，该方法包括如下步骤：首先将商品水合肼通过螯合树脂，控制体系温度为40～60℃，然后再通过0.05μm孔径的过滤器，即可得到合格的电子级水合肼；所述螯合树脂是以交联聚合物为骨架，并连接‑CH2N(CH2COOH)2结构的特殊功能基而构成的。本发明制得的电子级水合肼产品中金属离子含量极低，同时具有合适的颗粒度，还不带色，质量非常好，完全适用于集成电路领域。