Механізми формування універсальних сенсорів на основі анізотропних гетеропереходів ZnO/Cu2O(CuO) у вигляді наносистем типу нейронні системи

摘要

Конкретна фундаментальна задача в рамках загальної проблеми, яка була вирішена при виконанні проекту полягала у встановленні взаємозалежності між структурно-морфологічними характеристиками конденсатів цинку та міді, з одного боку, і такими технологічними параметрами, як потужність розряду в накопичувальній системі плазма-конденсат і тиск робочого газу, з іншого боку. udПроведено дослідження структури і фазового складу конденсатів за допомогою растрової і просвітлювальної електронної мікроскопії, на підставі яких були встановлені оптимальні технологічні параметри формування наносистем Zn/Cu. При цьому були проведені детальні дослідження етапу нукліації конденсатів міді і цинку. Відсутність перколяції, як по мідні так і цинковій складових визначалася при вивченні провідності через ці складові. При цьому встановлені три варіанта зародження конденсатів цинку. Перший з них реалізується при використанні накопичувальної системи плазма-конденсат і температурі ростової поверхні 280 °C. В цьому випадку формується надтонка суцільна плівка цинку. В області більш низьких температур ростової поверхні (180÷250 °C) на початковому етапі відбувається формування пов’язаних між собою нанониток, а при подальшому зниженні температури формується суцільна полікристалічна плівка. Використовуючи енергодисперсійний рентгенівський аналіз було встановлено, що надпоруваті наносистеми цинку та міді мають в своєму складі незначну кількість домішок у вигляді кисню.