机译:二甲基氨基-2-丙氧基铜和二乙基锌沉积铜原子层的动力学和覆盖率依赖性反应机理
机译:以二乙基锌为还原剂的铜原子层沉积机理:以气相分子为模型的密度泛函理论研究
机译:过渡金属铜原子层沉积过程中前体立体化学对解离化学吸附和表面氧化还原反应影响的量子化学研究(第119卷,第5914页,2015年)
机译:原子层沉积与超薄铂中间层低温铜铜准直接键合
机译:用于直接板衬和铜扩散阻挡层应用的钌-氮化钛混合相层的等离子体增强原子层沉积。
机译:单晶铜的基于切削的单原子层去除机理:边缘半径效应
机译:从二甲氨基-2-丙醇铜和二乙基锌沉积铜原子层的动力学和覆盖依赖性反应机理