Laser-produced plasma; Inertial confinement; Targets; Implosions; Atoms; Electron-atom collisions; Energy levels; Spectra; Plasma density;
机译:高密度HBr / Cl-2 / O-2等离子体中硅刻蚀过程中的等离子体-壁相互作用
机译:高密度氯基等离子体中多晶硅栅刻蚀的原子尺度细胞模型和轮廓模拟:钝化层形成对特征轮廓演变的影响
机译:脉冲高密度等离子体,用于高级干法蚀刻工艺
机译:玻色-爱因斯坦聚变机制用于微米和纳米级高密度氘核量子等离子体中的低能核反应和and变过程。
机译:超冷Rydberg等离子体的原子过程和动力学的理论研究
机译:高密度Ni纳米粒子的等离子体辅助原子层沉积用于非晶In-Ga-Zn-O薄膜晶体管存储
机译:高密度等离子体中的原子过程