Über Fehleranalyse an elektronischen Halbleiterbauelementen, insbesondere mit metallographischen Hilfsmitteln

摘要

Nach einem kurzen, allgemein gehaltenen überblick über Fehleranalysen an elektronischen Halbleiterbauelementen wird auf dasjenige Teilgebiet der Fehleranalyse näher eingegangen, wofür metallographisches Rüstzeug erforder¬lich ist. Zuletzt werden Beispiele gebracht von entsprechenden Arbeiten, die im vergangenen Jahr hier durchgeführt worden sind.