Automatic control; Etching; Integrated circuits; Materials handling; Wafers; Cleanliness; Furnaces; Loading operations; Safety factors;
机译:超精细的IC几何形状:在制造高性能集成电路时,气体等离子体刻蚀可以取代化学刻蚀
机译:流体微化学机械集成电路处理化学信息
机译:集成了CMOS光电检测器和信号处理功能的生物发光生物报告仪集成电路,用于非常低水平的化学传感
机译:化学辅助离子束刻蚀制备的AlGaAs光子集成电路
机译:信号处理集成电路的自动生成
机译:化学集成电路:互补金属氧化物半导体集成电路上的化学系统
机译:流体微型机械机械集成电路加工化学信息