Surface Coating; Silanes; Anions; Cations; Experimental Data; Ion Pairs; Mass; Mass Spectroscopy; Particulates; Plasma; Precursor; Silicon Ions; Time Dependence; Time Resolution; Visible Radiation; Tables(data);
机译:利用Urbach能量与硅烷耗竭率之间的关系优化通过超高频等离子体增强化学气相沉积法沉积的本征氢化非晶硅
机译:使用电感耦合硅烷等离子体高速沉积氢化非晶硅薄膜
机译:通过射频等离子体化学气相沉积法从硅烷和二氯硅烷沉积的稳定氢化非晶硅膜
机译:d.c.制备的高沉积速率的薄膜氢化非晶硅。氦稀释的硅烷的等离子体增强化学气相沉积
机译:使用原位多重全内反射红外光谱研究氢化非晶硅的等离子体沉积。
机译:感应耦合等离子体沉积在室内照明中实现高转化效率的低温生长氢化非晶碳化硅太阳能电池
机译:负氢化硅离子簇作为RF硅烷等离子体沉积实验中的颗粒前体
机译:在射频硅烷等离子体沉积实验中高度聚合的负离子的时间分辨测量