Thin films; Silicon alloys; Chemical vapor deposition; Epitaxial growth; Optical processing; Germanium;
机译:通过超高真空化学气相沉积直接在硅衬底上外延生长的富锗硅锗薄膜
机译:热丝化学气相沉积法优化氢化非晶硅锗薄膜和太阳能电池
机译:脉冲射频等离子体增强化学气相沉积法沉积硅锗合金薄膜的结构和光电性能
机译:锗掺入对等离子体增强化学气相沉积法制备的氢化非晶硅锗薄膜的影响
机译:硅和锗薄膜化学气相沉积的建模和控制。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:热丝化学气相沉积法优化氢化非晶硅锗薄膜和太阳能电池