机译:通过集成LC电路和MEMS器件的无线可读且可重置的震动记录仪
LC transducers; shock switch; electro-thermal actuator;
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机译:基于无线远程可读MEMS的微加速度计的设计与制造
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机译:具有嵌入式MEMS设备的多物理模型的RF电路设计。
机译:超越CMOS:III-V器件RF MEMS和其他异种材料/器件与Si CMOS的异构集成以创建智能微系统
机译:适用于不同TRL环境发出的RF-MEMS器件和电路的可靠性设计