Halbleiterchips beruhrungslos messen: Die schnellsten Liniensensoren messen kleinste Strukturen

摘要

Weltweit feiern alle Halbleiterchips dieses Jahr ein Jubilaum der besonderen Art: Ein Gesetz, das nur fur sie gilt, wird 50 Jahre alt. Die Rede ist vom Mooreschen Gesetz (engl. Moore'Law) welches besagt, dass sich die Komplexitat (manchmal auch Integrationsdichte) integrierter Schaltkreise regelmassig verdoppelt. Je nach Quelle spricht man hier von 18 oder 24 Monaten. Parallel und fast genauso ungestum entwickelte sich auch die optische Messtechnik fur Halbleiter weiter. Realisiert auf der Basis chromatisch-konfokaler Technologie sind heutzutage Liniensensoren der aktuelle Stand der Entwicklung.