Profiltreue Wiedergabe feinster Strukturen dank Piezotechnologie und Konfokaltechnik

摘要

Bei Oberflacheninspektionen geht der Trend zu immer kleineren Strukturen, die es bis zu Nanometergenauigkeit abzubilden bzw. aufzulosen gilt. Optische Messverfahren als beruhrungslose und zerstorungsfreie Analyse- und Prufmethoden sind fur viele Anwendungen das Mittel der Wahl, da sie auf nahezu allen Materialien einsetzbar sind und sich auch fur empfindliche Proben eignen. Hochgenaue konfokale Abbildungsprinzipien konnen die Probentopografie und Rauheitsstrukturen nicht nur qualitativ, sondern auch quantitativ ubereinstimmend mit taktilen Messverfahren darstellen. Piezobasierte Positioniersysteme leisten dazu einen nicht unerheblichen Beitrag.