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Short-focus silicon parabolic lenses for hard X-rays

机译:用于硬X射线的短焦硅抛物面透镜

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摘要

Parabolic lenses have been formed by photoanodic etching of silicon in the form of profiles 22 µm deep and 5 µm in diameter. Observations with 17.46 keV radiation show that the focal length of the lenses is 7 cm and images with resolution of 3 µm have been obtained. A procedure to evaluate the quality of real refracting profiles is suggested.
机译:抛物面透镜是通过对硅进行光阳极刻蚀而形成的,其轮廓为深22 µm和直径5 µm。用17.46 keV辐射进行的观察表明,透镜的焦距为7 cm,并且已获得分辨率为3 µm的图像。建议一种评估实际折射剖面质量的方法。

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