マイクロデバイス製作に用いられる複合材料

摘要

マイクロデバイスの応用先は多岐にわたり，目的に応じた機能を安価に，かつ簡易的な製作工程で実現できる方法が求められている。その課題に対する一つのアプローチとして，微細加工に用いられる材料に金属やシリカ微粒子，ポリマー等を混ぜ合わせ，複合材料として利用する方法が提案されている。複合材料で製作した構造物は，混ぜ合わせた材料の機能を併せ持つため，センサやアクチュエータとしての応用性に加えて，製作コストおよび製作時間の低減につながる可能性を有している。本稿では，マイクロデバイスの製作に広く用いられているPolydimethylsiloxane(PDMS)とネガ型フォトレジストのSU-8に焦点をあて，微粒子やポリマーを混合させた複合材料の特徴と応用例について紹介する。