Druckmesszelle in Dunnschichttechnik fur Temperaturen bis 150 Grad Celsius: Manche mogen's heiss

摘要

Bei der Druckmessung hat die Dunnschichttechnik bereits ihren festen Platz. In anderen Bereichen sind die Moglichkeiten, beispielsweise Kraftmessung direkt auf dem Substrat, noch nicht einmal ansatzweise ausgeschopft. Eigentlich unverstandlich, bieten doch Dunnschichten aus TiON ein Ausgangssignal von 5,5 mV/V sowie eine Temperaturbestandigkeit uber 200℃.