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机译:等离子体增强原子层沉积制备的Ru / Pt纳米复合膜的结构研究
Ru and Pt nanocomposite film; Atomic layer deposition; Analytical scanning transmission electron microscopy; Fuel cell catalyst;
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机译:利用Ru等离子体增强原子层沉积的初始生长阶段制备的嵌入Al2O3基体中的Ru纳米晶体的充电特性
机译:用三甲基铝和双氧前驱体通过等离子体增强原子层沉积法沉积氧化铝薄膜的研究:界面和结构性质的研究
机译:通过衬底偏置控制通过等离子体增强原子层沉积法沉积的Al2O3薄膜的机械,结构和光学性质
机译:用原子层沉积制备的高表面积钛酸盐(Atioα3)薄膜的研究
机译:通过等离子体增强原子层沉积制备的硅氧氮薄膜的微结构化学光学和电学性质的测量
机译:通过等离子体增强原子层沉积制备的硅 - 氧 - 氮膜的微观结构,化学,光学和电性能的测量