Spezielle Gasgemische fur die Dunnschicht-PV-Herstellung

摘要

Bei der Herstellung von Dunnschichtsolarzellen werden auf Tragermaterialien wie Glas mittels Silan mikroskopisch dunne Schichten aus Silizium aufgebracht und danach dotiert, um die elektrische Leitfahigkeit zu verbessern. Die Dotierung erfolgt beispielsweise durch Gasgemische mit Diboran oder Trimethylboran (TMB).