机译:压力对MEMS扭转谐振器中流体衰减的影响,其流动范围从连续到分子状态
MEMS; torsion motion; squeeze-film damping; experimental result; quality factor; microfluidics; SIMULATION MONTE-CARLO; RAREFIED-GAS FLOWS; SQUEEZE-FILM; MICROCHANNELS; CHANNELS; DEVICES; MIRROR; MICRO;
机译:压力对MEMS扭转谐振器中流体衰减的影响,其流动范围从连续到分子状态
机译:自由分子状态下微悬臂,桥和扭转谐振器的阻尼模型
机译:分子流态下的微纳机械梁谐振器的空气阻尼模型
机译:分子流态中微米和纳米级机械谐振器的流体阻尼:基于动量传递的分析方法
机译:MEMS谐振器中的能量耗散:挠曲谐振器的流体阻尼和热弹性阻尼。
机译:气体阻尼在电容性MEMS换能器中的自由分子流动状态
机译:机械谐振器中流体阻尼的系统研究,尺寸范围从微米级到纳米级
机译:柔性结构连续模型中的阻尼算子:梁扭转比例阻尼的显式模型。