机译:用于层间电介质应用的MMA / SiO_2混合低A薄膜的生长和表征
MMA incorporation; low refractive index; low dielectric constant; optical interconnects; interlayer applications;
机译:用于层间电介质应用的MMA / SiO_2混合低A薄膜的生长和表征
机译:MMA / SiO2杂化低电子的生长与表征层间电介质应用的薄膜
机译:层间介电应用MMA / SiO 2 sub>杂化低k薄膜的生长和表征
机译:用于生物传感器的P(tBuMA-co-MMA)薄膜的辐射图案:通过扫描探针显微镜表征
机译:高性能微波电介质薄膜的生长和表征。
机译:用于微和纳米电子应用的低k介电薄膜的热稳定性的宽带介电光谱表征
机译:用于ULSI电路中的层间介电的溶胶-凝胶沉积的多孔原基多孔低k薄膜
机译:用于HmC(混合微电路)应用的氮化钽,钛和钯薄膜沉积的DC磁控溅射系统的表征。