机译:纳米厚度的独立式多晶硅薄膜的尺寸依赖性断裂强度和开裂机理
Polycrystalline silicon; Thin film; Tensile test; Fracture mechanisms; Size effect;
机译:纳米厚度的独立式多晶硅薄膜的尺寸依赖性断裂强度和开裂机理
机译:《硅基板上多晶金和银薄膜的机械性能的纳米压痕测量:晶粒尺寸和膜厚的影响》更正。科学。 A 427(2006)232-240]
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