MEMS-technologie in acceleratie en inclinatie: Siliciumstructuren als basis voor acceleratiesensoren en inclinometers

摘要

Sensoren in silicium, veelal onder de naam 'Micro Electro Mechanical Systems' of ook wel kortweg MEMS, worden in nog steeds toenemende mate gebruikt voor het omzetten van signalen vanuit het fysische naar het elektrische domein. Redenen hiervoor zijn onder andere de hoge gevoeligheid, de grote nauwkeurigheid, de kleine afmetingen en de grote mate van betrouwbaarheid.