基礎講座今さら聞けない？ 基礎中の基礎真空を作る，測る

摘要

真空には，低真空から極高真空まで15けたにわたる広い領域が存在する．望みの真空を作るには，真空容器からのガス放出に留意しながら，目的に応じた真空ポンプを利用する。作った真空の圧力を測定するには，圧力領域に適した真空計を用いる．典型的な真空ポンプと真空計の原理を考えながら，真空の作り方と測り方について解説する．