机译:用纳米测量仪进行表面和坐标测量
Nanopositioning; Nanomeasuring; Nanometrology; Interferometer; Coordinate measurements; Surface measurements; Abbe comparator principle; Machine design;
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机译:坐标测量机在复杂表面测量不确定度评估中的不同方法
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机译:一种估计特定任务不确定性的方法,用于坐标测量机(CMM)测量。
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