机译:使用Twyman-Green干涉测量法测量和补偿平移阶段的5自由度寄生运动误差
Twyman-green interferometry; Parasitic motion errors; Real-time compensation;
机译:使用Twyman-Green干涉测量法测量和补偿平移阶段的5自由度寄生运动误差
机译:纳米测量机Z轴误差补偿级的测量和跟踪控制
机译:通过测量和补偿主轴旋转轴在径向方向上的误差运动进行的高精度加工
机译:使用扩展的Twyman-Green干涉仪同时测量和补偿5自由度运动误差
机译:基于块的运动补偿时间预测的误差校正和隐藏,转换编码视频。
机译:T型电容传感器能够测量精密主轴的5自由度误差运动
机译:用于实时检测旋转级的5-DOF误差运动的嵌入式传感器系统
机译:用于补偿拖曳阵列运动引起的误差的系统和方法。