回路シミュレーションによる入力保護回路のESD耐性予測

摘要

回路シミュレーションを用いてESD入力保護回路を設計できることを示した．すなわち，試作した各種の保護素子ごとにDC実測で現れるスナップバックを表現できるようにした新しい等価回路は，保護素子のみのESD試験（HBM，MM）のAC実測値をよく表現できることを示し，更に，保護素子を組み合わせた入力部分のESD試験の検討が，この等価回路を使用した回路シミュレーションで可能であることを示した．本等価回路は既存のバイポーラモデルとダイオードモデル及び電流制御電流源，抵抗を組み合わせた簡単なものであり，通常の回路シミュレータで解析が可能である．