スパッタたい積後空気中熱処理によるSrAl_2O_4薄膜の特性

摘要

SrAl_2O_4蛍光体は，複数の希土類（Eu，Dyなど）を加えることにより，優れた残光性及び高輝度を示す材料である．そこで本研究では，SrAl_2O_4。 蛍光体薄膜の結晶性及び配向性の制御を行うための知見を得るために，スパッタたい積時の酸素分圧を変えて作製した膜を空気中で熱処理を行う方法を試みた．その結果，スパッタ膜たい積時の酸素分圧を0.1Pa とし，空気中1000℃で熱処理を行うことにより，膜のはく離を抑制することが可能であること．はく離が抑制される条件で作製した膜は，結晶性及び配向性も良好であり，（010）配向膜が得られること．酸素分庄を0.1Paで作製した膜では，中心部において2価のEuに起因した緑色の発光が，端部では3価のEuに起因した赤色の発光が確認されたこと．酸素分圧が0.1Pa以外の膜では，3偶のEuに起因した赤色の発光のみが確認されることが明らかとなった．