机译:脱层试验和自由边缘对PZT薄膜界面强度的影响
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机译:在基板上压电薄膜之间的界面自由边缘处分层的实验和理论研究
机译:缺陷几何形状在薄膜沿自由边缘的二维界面缺陷分层中的作用
机译:压电薄膜之间接口自由边缘的分层
机译:使用钛酸锆钛酸铅(PZT)薄膜致动器的RF MEMS系列开关的设计,制造,测试和评估
机译:平面外位移大的三自由度PZT薄膜致动微执行器
机译:薄膜界面强度评价方法的研制及其在先进LSI中Cu / Tan分层的应用。