レーザ光回折法による超高精度微小傷·欠陥検出装置

摘要

近年，自動車用部品は小型軽量化，高品質化が急速に進み，熟練作業者による目視検査でも，不良品を完全に排除することが困難となっている．とりわけ，検査工程では，ミクロンオーダの多様な微小傷·欠陥の自動検出法が求められており，センシンク法を含めた革新的な検査技術の研究開発が急務となっている．筆者らは，数年前から，自動車用油圧シリンダの製造メーカの要請を受けて，シリンダ内壁曲面に発生する鋳物巣や加工傷などの微小な傷·欠陥を高速かつ高精度に自動検査する装置の開発に取り組み，この度，レーザ光回折法に基づく自動検出装置を開発試作し，生産現場での実証試験の結果，画期的ともいえる成果を上げることができたので紹介する．