極薄シリコン酸化膜におけるPre－Breakdown現象のキャリヤセパレーション法による解析

摘要

ゲート酸化膜の絶縁破壊前に見られる異常リーク現象をキャリヤセパレーション法により解析した．ほとんどの異常リーク電流ではゲートからの電子電流のみが支配的であり，電子の平均基板入射エネルギーは様々な値をとり得る．これは酸化膜中の中性トラップクラスタ付近でポテンシャル障壁が局所的に弱められることに起因するリーク電流であるというモデルにより定性的に説明される．一部の異常リーク電流では電子電流に加え反転層からの正孔電流が同程度生じる．