プローブ結合型マイクロストリップ線路共振器法による超伝導薄膜の表面抵抗測定

摘要

超伝導マイクロ波受動デバイスを設計するためには，超伝導薄膜の表面抵抗を考慮する必要がある．このため，超伝導薄膜の表面抵抗の高精度測定法の確立が望まれている．本論文では，超伝導薄膜の表面抵抗の測定方法としてプローブ結合型マイクロストリップ線路共振器法を提案する．共振界法では，表面抵抗は共振器の無負荷Q，Q_uから計算される．したがって，マイクロストリップ線路共振器法により超伝導薄膜の表面抵抗を正確に求めるためには，共振器のQ_uを高精度測定する技術の確立が重要となる．プローブ結合型マイクロストリップ線路共振器法により金属と超伝導薄膜から作製した共振器のQ_u測定を行い，プローブ結合型マイクロストリップ線路共振器法によるQ_u測定の測定精度と，超伝導薄膜の表面抵抗測定の再現性について述べる．