干渉露光法を用いたナノ粒子配線の作製

摘要

銀ナノ粒子配線と干渉露光を組み合わせた微細配線形成法について検討した．ガラス基板上に疎水性ポリイミド (PI)を成膜し，干渉露光法によりPIをパターニングすることで，PI疎水部とガラス親水部からなるLine Space (L/S)を作製した．このL/Sの親水部に銀ナノ粒子分散液を流し込み，乾燥させることで微細配線が形成される．本方法により，分離された3 μm L/S幅配線形成が確認できた．