ラム波型弾性波素子用基板の温度特性

摘要

本論文では極薄の水晶基板を伝搬する板波（ラム波）の波動解析を行い，温度に対して周波数がほとんど変化しない超高安定な周波数温度特性を示すカット角を探索した．二次曲線，三次曲線を示す高安定な周波数温度特性が得られた．また，ATカット水晶基板を伝搬するラム波の周波数温度特性に関する理論及び実験的検討の結果，両者の一致が見られ，本研究の解析結果の信頼性が高いことを確認した．