自動車用MEMSセンサ

摘要

自動車において，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術は，圧力センサや加速度センサをはじめとする各種センサとして実用化され，高度な自動車制御システムを普及させるのに貢献し，自動車の基本性能を向上させてきた．今後，省資源，省エネルギーの社会的ニーズに加え，来るべきユビキタス高度情報社会に対応するキーテクノロジーとして，さまざまな新たなセンサの創出に大きな期待がかかっている．