基板コーティング装置、他

摘要

インラインタイプ『Pegasus-600I』と、卓上タイプ『Pegasus-300F』をラインアップする製品。インラインタイプの塗布ノズルにはフィルムコートタイプと、ニードルタイプの2種類を標準装備。広い面積を短時間、かつ、限定された領域に正確に防湿剤を塗布していくことができる(ただし、卓上タイプはフイルムコートタイプのみ)。基板全体画像をモニタしながら塗布エリアの指定が可能。塗布エリアごとに塗布方向、使用ノズルを設定できる他、基板表裏、搬送方向の確認も行なう。また、シミュレーション機能では最短塗布ルート探索による塗布経路の事前確認が可能なため(図1)、タクトタイムの短縮に貢献。さらに背画に?150排気ダクトを設けており、臭気回収も行う。