超微小押込み硬さ試験機「ENT-5」

摘要

ビッカース試験等の押込み硬さ試験は，ほぼ非破壊でサンプルの硬さを測ることのできる優れた試験法だが，顕微鏡で圧痕を観察する必要があることから以下のような課題がある．（1）近年ではDLC等の様々な機能を持つ薄膜や，材料極表面の特性改善技術が用いられるが，膜厚が数μm以下になると，ビッカース試験では押込み深さが深すぎて，圧子が下地まで到達してしまい特性評価ができない．（2）ゴムやポリマー等の弾性変形をする材料は，塑性変形せず圧痕が残らないので妥当な評価ができない．そこで登場したのがナノインデンテーション試験（超微小押込み硬さ試験）である．