重い電極/水晶基板構造の超小形なSH型LSAWデバイス

摘要

STカット水晶基板上をX軸と垂直な方向に波が伝搬するように，密度の大きい金属からなるすだれ状電極を構成にすることにより，減衰のない漏洩弾性表面波（LSAW）が励振される．この波は，Shear Horizontal（SH）成分だけをもち，良好な温度特性，大きな電気機械結合係数と反射係数をもつことを見出した. このSH型LSAWを共振子やフィルタに適用したところ，少ないIDT対数（従来の1/10）と小さい反射器（従来の1/35）とでデバイスを構成できたため，従来のSXカットX伝搬水晶基板上のレイリー波デバイスに比べ，面積比で1/4から1/5という非常に小さな共振子や共振子フィルタを実現できた．