SEMICON Japan 2022

摘要

2022年12月14日(水)～16日(金)の3日間、東京ビッグサイトにおいて、半導体を中心としたマイクロエレクトロニクスの製造を支える装置/材料産業の総合ィベントであるSEMICON Japan 2022が、SEMIの主催によって開催された。3日間の展示会の総来場者数は、51,480名にのぼった。玉川エンジニアリング㈱では、キャリアに挿入された25枚のウエ八を、ー度にキャリアやボートに移載させることができる装置「ウエハトランスファー」を紹介していた(写真1)。