導入が進むPFC除害装置－触媒式，燃焼式，プラズマ式など様々方法で処理

摘要

洗浄やェッチングなどの半導体の製造工程で使用される，CF{sub}4，C{sub}4F{sub}8などのパーフルオロカーボン類(PFC)は，温室効果ガスとして知られ，大気中での寿命も長い。 PFCは地球温暖化係数(GWP: Global Warming Potential)がCO{sub}2の5000倍～2万倍以上と極めて高く，97年の京都会議(COP3)で規制対象物質となっている。 また，99年の世界半導体会議(WSC)では，10年までに95年を基準として総排出量を10％以上削減することが合意された。 そのため，PFCを効率的に除去することが可能な装置の開発が進んでおり，環境対策として導入している半導体製造メーカーも徐々に増えてきている。 本稿では，半導体製造工程で用いられるPFCを効果的に除害あるいは無害化する装置についてレポートする。