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TEL300ミリメートルパワーデバイス向けエッチング装置販売

机译:面向tel300ミリメートルパワーデバイス蚀刻装置销售

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摘要

東京エーレクトロン(TEL)は、300ミリメートルパワーデバイス向けエッチング装置Tactras-UDEMAEを販売。Tactras-UDEMAEは、2O0ミリメートルウエハー市場で業界最大の納入実績を誇る同社のパワーデバイス製造向けプラズマリアクターを、300ミリメートルウエハー向けに拡張、300ミリメートルウエハープロセスで高い信顆性と高生産性で実績のあるプラットフォ1ムTactrasに搭載した。

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  • 来源
    《電波新聞》 |2022年第18340期|5-5|共1页
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 日语
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