クリーンルームにおける電気設備設計：電気設備設計におけるチェックポイント

摘要

クリーンルームとは、空気の清浄度が確保された部屋である。現在、半導体工場を初めとする精密機器製造工場や医薬品製造工場および食品製造工場では、製品の品質、安全性向上のため、このクリーンルームが必要不可欠となっている。また近年、ナノテクノロジーの進歩により、より清浄度の高いクリーンルームが求められつつある。一般的にクリーンルームを設計する場合は、クリーンルーム内の仕様に関して要求が発生するため、本稿におけるインフラ電気設備に関しては要求項目のみを述べる。またクリーンルームを設計するに際してのチェックポイントとして、“1建物の用途によるクリーンルームの相違”“2クリーン度と電気設備の仕様のグレードの決め方”“3電源の確保（瞬停対策）と静電気対策”について述べる。