作業場所のみを除湿できる空調制御システム

摘要

近年大型化する低露点環境は、コストが増大する傾向にある。各工程間に局所空調を採用した低露点環境の構築によるコスト削減や、エージング対応ストッカ等、空調設備と搬送設備を融合させた取り組みについて述べる。