直接変換方式X線検出器を搭載した X線自動検査装置

摘要

近年、基板実装にBGA?CSPなどの底面電極接合デバ イスが多く採用されるようになり、AOIによる検査だけで はカバーできない部分が多くなってきた。 さらに、車載基 板では全数検査が要望されており、X線自動検査の確立が 不可欠となっている。 しかしながら、既存のX線発生器と検出器との組み合わ せでは、安定した再現性のある画像を得ることができない ため、X線による自動検査は大変困難なものであった。