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摘要

丸紅情報システムズ（株）は、米ルネサス　テクノロジが 45nmのプロセスばらつきキャラクタライズに、米 Stratosphere SolutionsのTEG構成技術StratoPro- STXを導入したと発表した。これにより、ばらつきの Mean値及び3σの抽出や、パラメトリック欠陥デバイス の位置の特定が可能となり、プロセス技術開発段階から量 産までのパラメトリック歩留りのモニタまで適用できる。